1. 選擇HMDS烘箱的容積

   內(nèi)腔尺寸：450*450*450mm，1-8寸片均適用，4寸晶圓可處理200P/次；

2. HMDS烘箱真空泵的選擇

   根據(jù)腔體容積，選配合適型號的真空泵。常用渦旋式真空泵又分為油泵和干泵。

◆ 低噪聲，低振動

3.HMDS烘箱輔助功能選擇：

◆HMDS藥液泄漏報警提示功能

◆HMDS低液位報警提示功能

◆工藝數(shù)據(jù)記錄功能

◆藥液管道預(yù)熱功能 

◆程序鎖定保護等功能