PI/BCB固化真空無氧烘箱操作方法

開機(jī)前注意檢查，循環(huán)水是否打開（壓力足夠），氮?dú)忾y門是否打開（壓力足夠）

1.打開設(shè)備電源開關(guān)，人機(jī)界面啟動(dòng)；

2.在人機(jī)界面參數(shù)設(shè)定中編輯需求工藝；

3.返回主界面，選擇工藝序號(hào)；

4.選擇程式運(yùn)行，確認(rèn)運(yùn)行；

5.程序運(yùn)行結(jié)束，打開箱門，拿出產(chǎn)品

6.關(guān)閉箱門。

PI/BCB固化真空無氧烘箱適用工藝：

    PI固化厭氧烤箱用于用于PI/BCB/LCP固化，半導(dǎo)體封裝等，也用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影等。

PI/BCB固化真空無氧烘箱技術(shù)性能：

內(nèi)腔尺寸：3500*350*350/自定義

溫度范圍：RT+30～450℃；  

溫度波動(dòng)度：±1℃；        

控精度：0.1℃;

氧濃度：10ppm

真空度：100pa

降溫方式：快速降溫

操作方式：人機(jī)界面，智能型一鍵運(yùn)行；

內(nèi)膽材料:采用 #304鏡面不銹鋼制作；

外殼材料：采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑；

置換氣體：氮?dú)猓?/span>

電源：380v/50Hz，5KW；

支撐裝置：腳杯和萬向輪；

廠商品牌：雋思。

高溫?zé)o氧烘箱，潔凈烘箱，HMDS真空烤箱，硅烷蒸鍍機(jī)，無塵無氧烤箱，氮?dú)饪鞠?，超低溫試?yàn)箱，快溫變?cè)囼?yàn)箱，恒溫恒濕試驗(yàn)箱，高低溫沖擊試驗(yàn)箱等設(shè)備，以及非標(biāo)定制。---上海雋思儀器專業(yè)生產(chǎn)/服務(wù)！