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詳細(xì)盤點(diǎn)HMDS鍍膜機(jī)的使用注意事項(xiàng)

更新時間:2022-01-20   點(diǎn)擊次數(shù):1331次
 
  HMDS鍍膜機(jī)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
 
  HMDS鍍膜機(jī)的使用注意事項(xiàng):
 
  1、定期清潔真空室并盡量抹干,每次都*洗干凈,以免造成越來越難洗的現(xiàn)象。烘干后再鍍膜,頭一爐應(yīng)比原來延長四倍時間才鍍膜。
 
  2、定期更換擴(kuò)散泵油,更換真空泵及羅茨泵油。更換擴(kuò)散泵油前一定要確認(rèn)真空度是否低于1X102Pa,擴(kuò)散泵里面的油溫是否*冷卻到常溫狀態(tài)后,方可進(jìn)行加熱或充大氣進(jìn)行拆卸,否則會產(chǎn)生傷害人的嚴(yán)重后果。
 
  3、平時整個系統(tǒng)要保持真空狀態(tài),工作前才充入氣體,不要使真空室長期暴露在大氣中。
 
  4、經(jīng)常檢查膠封是否良好,特別是動密封圈,定期給動密封處加上真空脂。
 
  5、定期檢查電氣元件,清除灰塵,更換燒壞的元器件。
 
  6、在真空狀態(tài)下不得拆卸擴(kuò)散泵和閥門。拆卸的方法是:先將整個真空系統(tǒng)抽至真空狀態(tài),注意不要加熱擴(kuò)散泵,用手動打開精抽閥,然后按放氣閥按鈕讓系統(tǒng)充入大氣,當(dāng)真空室充滿大氣后就可進(jìn)行拆卸擴(kuò)散泵和閥門。
 
  7、停旋片泵、滑閥泵時,要注意電磁閥(或氣動閥)是否向泵腔充氣,否則會引起回油,污染真空管道。因此,電磁閥(或氣動閥)充氣動作失靈時,必須及時進(jìn)行修理或更換。
 
  8、對于偏北地區(qū),在寒冷季節(jié),夜間和較長時間停機(jī)時,必須用壓縮氣體將冷卻水趕出冷卻管道、泵體,以免凍裂冷卻水管(套)和泵體。
 
  9、精抽系統(tǒng)要待真空壓強(qiáng)達(dá)到3Pa后才能工作,若在過高的壓強(qiáng)下進(jìn)行抽氣,會使擴(kuò)散泵油氧化,降低抽氣能力,縮短泵油的使用壽命。
 
  10、為保證真空鍍膜設(shè)備有清潔的工作環(huán)境,滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外,因?yàn)閺幕y泵排出的氣體含有很多微小的油霧會污染被鍍的工件,嚴(yán)重影響膜層的質(zhì)量。
 
  11、在工作過程中不得斷水,采用的冷卻水必須清潔,不得使用硬水或濁水作為冷卻水,否則會使冷卻水管沉積一層水垢,影響冷卻效果。
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