產(chǎn)品中心您的位置：網(wǎng)站首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體烘烤設(shè)備 > 真空烤箱 > 真空固化烤箱，防氧化真空系統(tǒng) 工業(yè)烘箱

真空固化烤箱，防氧化真空系統(tǒng) 工業(yè)烘箱

簡要描述：

真空固化烤箱，防氧化真空系統(tǒng)用于鍵合前鍵合材料的真空處理、ITO膜退火，PR膠排膠固化等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)，適用于工廠、高等院校、科研等場所。

一、真空固化烤箱，防氧化真空系統(tǒng)用途

無氧真空系統(tǒng)用于鍵合前鍵合材料的真空處理、ITO膜退火，PR膠排膠固化等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)，適用于工廠、高等院校、科研等場所。

二、真空固化烤箱，防氧化真空系統(tǒng)技術(shù)性能參數(shù)

1、設(shè)備名稱：
名稱	無氧真空系統(tǒng)
2、設(shè)備型號：
型號	JS-GYZF系列
3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)：
3.1 工作室尺寸	450×450×450，600×600×600（mm）
3.2 材質(zhì)	內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑
3.3 溫度范圍	RT+10-300/450℃
3.4 溫度分辨率	0.1℃
3.5 溫度波動度	≤±1℃
3.6 溫度均勻度	≤2%MFS
3.7 升溫速率	≤10℃/min
3.8 降溫速率	特殊要求數(shù)據(jù)
3.9 真空度	≤133pa或要求數(shù)據(jù)
3.10 電源及總功率	AC220V、 380V±10% / 50HZ
3.11 溫度控制儀表	可編程觸摸屏儀表，可校準(zhǔn)溫度，PID自整定等功能
3.12擱板層數(shù)	316L不銹鋼托盤2層，配有限位裝置
3.13真空泵	油泵/干泵
3.14 腔門密封圈	采用耐高溫硅橡膠密封圈
3.15 狀態(tài)指示燈	配有三色指示燈及蜂鳴器來提示機(jī)臺運(yùn)行狀態(tài)
3.16 氧含量	特殊要求數(shù)據(jù)
3.17 潔凈度	Class100、1000級
3.18 降溫系統(tǒng)	選配
3.19 氮?dú)饪刂?/p>	工藝要求
3.20 安全保護(hù)裝置	安全的接地保護(hù)裝置，超溫保護(hù)及報(bào)警裝置，漏電保護(hù)裝置。