適用行業(yè)

應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).

二、厭氧烘箱，厭氧固化烘箱技 術(shù) 參 數(shù)   

1、設(shè)備名稱

 高溫?zé)o塵無氧烤箱

2、設(shè)備型號

 JS-MOY系列

3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)                                                          

3.1 工作室尺寸

 W600mm×D600mm×H600mm可定制

3.2  材質(zhì)

 外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼，內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼

3.3 溫度范圍

 RT+10-450℃

3.4 溫度分辨率

 0.1℃

3.5 溫度波動度

 ＜±0.5℃

3.6 溫度均勻度

 ≤±1.5%

3.7 潔凈度

 class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

3.8電源及總功率

 AC 380V±10% / 50HZ       總功率約21.0KW    

3.9 升溫速度

 可要求

3.10降溫速度

 平均降溫速度要求

3.11氧含量

 高溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量
 低溫狀態(tài)氧含量：≤ 100ppm +氣源氧含量

4、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

 4.1

  熱

  風(fēng)

  循

  環(huán)

  系

  統(tǒng)

 4.2

  氣

  體

  系

  統(tǒng)

 4.3

  降

  溫

  系

  統(tǒng)

 4.4

  溫

  控

  系

  統(tǒng)

 4.5

  軟

  件

  控

  制