晶圓退火烤箱，500度退火氮?dú)夂嫦?/strong>：

      晶圓退火需進(jìn)行升溫處理，升溫處理具有多個(gè)升溫階段,每個(gè)升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個(gè)區(qū)域在每個(gè)所述升溫階段中的溫度不同;對(duì)所述多個(gè)區(qū)域進(jìn)行保溫處理;對(duì)多個(gè)區(qū)域采用氮?dú)獗Ｗo(hù)，該氮?dú)夂嫦洳捎幂o助降溫方式進(jìn)行降溫處理。

晶圓退火烤箱，500度退火氮?dú)夂嫦?/strong>技術(shù)性能：

1 工作室尺寸  W450mm×450mm×H450mm （90L），可定制

2  材質(zhì) 內(nèi)箱采用耐高溫SUS304不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑

3 溫度范圍 RT+50-550℃

4 控溫精度 +1

5 溫度波動(dòng)度 ≤±1℃

6 溫度均勻度 ≤1.5%

7 潔凈度class100/class1000/無要求

8電源及總功率 AC 380V±10%/50HZ 

9 升溫速度 1-10℃/min可調(diào)

10降溫方式 風(fēng)冷降溫/水冷

11氧含量 氧含量≤50ppm 

12 數(shù)據(jù)輸出 氧含量分析儀，溫度記錄儀

13操作方式    彩色觸摸屏控制，可程式/定制運(yùn)行

14 樣品架  2層不銹鋼沖孔托盤

500度退火氮?dú)夂嫦?/strong>安全保護(hù)：

三色報(bào)警燈

超溫報(bào)警

短路保護(hù)

漏電保護(hù)

超溫保護(hù)，獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器

電機(jī)保護(hù)

電子鎖自動(dòng)鎖緊，防止高溫開門