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半導(dǎo)體光刻膠烤膠機,基片烘膠臺定制

半導(dǎo)體光刻膠烤膠機,基片烘膠臺定制

簡要描述:

半導(dǎo)體光刻膠烤膠機,基片烘膠臺定制支撐pin材料
邊緣支撐pin
N2吹掃,無氧化烘烤
烘焙距離可調(diào)模組
真空腔體
智能型控制系統(tǒng)

半導(dǎo)體光刻膠烤膠機,基片烘膠臺定制

   用于晶圓的單面烘烤,可用于預(yù)烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩(wěn)定度高,重復(fù)性好。可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。

精密烤膠臺技術(shù)性能:

加熱面積尺寸:160mm*160mm、220mm*220mm,多尺寸定制  

控溫范圍:室溫--200、300/400/500/600℃

溫度分辨率 :0.1℃     

溫度波動度:≤±0.5℃         

溫度均勻性:≤±0.5/1℃ 

電源輸入:AC220V 10A           

加熱功率:1500W 

熱板表面: 由硬質(zhì)陽極氧化鋁制成

精密烤膠臺特點:

穩(wěn)定性能非常好,溫度穩(wěn)定度可達±0.5℃。

溫度調(diào)節(jié)范圍寬:室溫-500℃

采用閉環(huán)控制,升溫速度快。

具有定時功能。同時帶倒計時顯示功能。

采用數(shù)字按鍵控制溫度與時間,溫度與時間設(shè)定更加精確。

機身全部采用不銹鋼,耐酸耐堿耐腐蝕。

針對客戶基片尺寸大小,提供加熱板定制服務(wù)。

半導(dǎo)體光刻膠烤膠機,基片烘膠臺定制可選配功能:

支撐pin材料

邊緣支撐pin

N2吹掃,無氧化烘烤

烘焙距離可調(diào)模組

真空腔體

智能型控制系統(tǒng)



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