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HMDS 烘箱 工業(yè)烘箱

HMDS 烘箱 工業(yè)烘箱

簡要描述:

HMDS 烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C),在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合。

HMDS 烘箱原理

     HMDS 烘箱也稱為HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS蒸鍍機(jī)等,是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C),在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合,使這樣的襯底表面具有疏水性。

HMDS 烘箱技術(shù)指標(biāo)


溫度范圍:RT+10-250℃

真空度:≤133pa(1torr)

控制儀表:人機(jī)界面,一鍵運行

HMDS控制:可設(shè)定

HMDS工藝:進(jìn)入腔體到尾氣排出*密閉,無任何泄漏

安全檢測:在線檢測,HMDS泄漏警 報提示

儲液瓶:HMDS儲液瓶 

真空泵:無油渦旋真空泵

規(guī)格尺寸(mm):300*300*300/450*450*450、定制

數(shù)據(jù)記錄:開機(jī)、待機(jī)、升溫、壓力等數(shù)據(jù)記錄

功能:脫水烘烤、增粘劑蒸鍍、后烘

用途 :將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

   


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