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OAP烘箱,OAP處理烘箱 工業(yè)烘箱

OAP烘箱,OAP處理烘箱 工業(yè)烘箱

簡(jiǎn)要描述:

OAP烘箱,OAP處理烘箱處理主要是為了改善親水性表面,變?yōu)槭杷裕瑥亩_(dá)到增加光刻膠粘附性的作用。

OAP烘箱,OAP處理烘箱的工藝

   光刻的作用是把掩模版上的各形轉(zhuǎn)換成晶圓十的器件結(jié)構(gòu),它對(duì)集成電路圖形結(jié)構(gòu)的形成,如各層薄膜的各形及摻雜區(qū)域等,均起著決定性的作用。光刻的基本流程中第一步,前處理就是需要將基片親水性改為疏水性,即OAP(HMDS預(yù)處理)工藝。

OAP烘箱,OAP處理烘箱簡(jiǎn)介

   OAP處理烘箱,也稱為HMDS烘箱、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)。用HMDS溶液:六甲基二硅胺烷)成底膜進(jìn)行表面處理,它起到提高粘附力的作用,在硅片成底膜操作后盡快涂膠。OAP烘箱是采用氣相成底膜的方式來(lái)完成HMDS的涂覆工藝,優(yōu)點(diǎn)是,整個(gè)工藝在密閉的環(huán)境中,外界沒(méi)有與硅片接觸減少了來(lái)自液體HMDS顆粒沾污的可能,HMDS的消耗量也小。

OAP烘箱指標(biāo)

HMDS藥液泄漏報(bào)警提示功能

HMDS低液位報(bào)警提示功能

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

HMDS管道預(yù)熱功能

程序鎖定保護(hù)等功能

尺寸(深*寬*高)

內(nèi)腔尺寸:450×450×450(mm)(可定制)

材質(zhì):外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用級(jí)不銹鋼

溫度范圍:RT+50-200℃

溫度波動(dòng)度:≤±0.5

真空度:≤1torr

HMDS控制:可控制HMDS 藥液添加量

真空泵:無(wú)油渦旋真空泵



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